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微電子科學與工程是物理學、電子學、材料科學、計算機科學、集成電路設計制造學等多個學科和超凈、超純、超精細加工技術基礎上發(fā)展起來的一門新興學科。微電子學是21世紀電子科學技術與信息科學技術的先導和基礎,是發(fā)展現(xiàn)代高新技術和國民經(jīng)濟現(xiàn)代化的重要基礎。主要研究半導體器件物理、功能電子材料、固體電子器件,超大規(guī)模集成電路(ULSI)的設計與制造技術、微機械電子系統(tǒng)以及計算機輔助設計制造技術等。

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